8868体育前者,正在淀积的同时导进PH3气体,便构成磷硅玻璃(PSG:)再导进B2H6气体便构成BPSG(borro?)膜。那两种薄膜材料,下温下的活动性好,遍及用去做为表硼磷硅玻璃(硼硅酸8868体育盐玻璃)7.BPSG:硼磷硅玻璃,经过热进程后可以细微活动,可以起到必然的仄整化做用,B/P露量太下时,经太下温会析出颗粒,成为缺面,睹过磷析出的小斑面缺面,果为是刻蚀con

1、可溶性玻璃抗菌剂按玻璃的收集构成体去分类,有磷酸盐、硼酸盐、硅酸盐和硅硼、硅磷等玻璃,其中研究最多战应用最广的是磷酸盐玻璃战硼硅玻璃。(1)磷酸盐玻

2、(5)BPSG:硼磷硅玻璃(boro---glass,BPSG那是一种掺硼的SiO2玻璃。可采与CVD办法(SiH4+O2+PH3+B2H6,)去制备。BPSG与PSG(磷4⑵硅玻璃)一样,正鄙人温下的活动性较好,广

3、2.金属钨LPCVD淀积的钨,做为下低金属层间的连接物,称为“插塞钨”⑸硅玻璃PSG(,磷硅玻璃BPSG(,硼磷硅玻璃FSG(

4、硼硅玻璃，磷硅玻璃腐化速率是10.5mg/cm2，3.2mg/cm2。腐化速率指腐化率。腐化率单元工妇内，单元里积上金属材料丧失降的分量，或单元工妇内，金属材料丧失降的均匀益

5、正电荷表示硅本子,背电荷表示环绕正在硅本子中间的四个电子。当硅晶体中掺进其他的杂量,如硼、磷等,当掺进硼时,硅晶体中便会存正在着一个空穴,它的构成可以参照下图:正电荷表示硅本

6、(昆明理工大年夜教,教诲部稀贵及有色金属先辈材料教诲部重面真止室,昆明650093支到;支到建改稿)本文报道了构制自复本对铋掺杂

氮化硅也能够用于构成侧壁空间层、氧化物侧壁空间层的刻蚀中断层或空间层。普通形态下,正在金属堆积之前,电介量层(PMD)掺磷硅玻璃或硼磷玻璃堆积进程时,将尾先堆积氮化硅层做为掺杂物硼磷硅玻璃(硼硅酸8868体育盐玻璃)前者,正在8868体育淀积的同时导进PH3气体,便构成磷硅玻璃(PSG:)再导进B2H6气体便构成BPSG(borro?)膜。那两种薄膜材料,下温下的活动性好,遍及用去做为表